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                          • 藍寶石清洗機

                          設備名稱:龍門單臂自動超聲波清洗機

                          設備型號:FWA-3040TKC
                          清洗對象:藍寶石基片
                          使用廠家:福建晶安光電

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                          詳細參數 Parameter

                          龍門單臂自動超聲波清洗機,藍寶石基片清洗機

                           清洗工藝:

                          工序方法

                          清洗方式

                          清洗時間

                          清洗液

                          加熱功率

                          過濾

                          進水

                          排水

                          缸蓋

                          拋動

                          1

                          進料

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                          2

                          超聲波清洗

                          120KHZ / 2KW

                          5~10min

                          清洗劑

                          6KW

                          自動

                          手動

                          /

                          3

                          噴淋漂洗

                          噴淋

                          5~10min

                          純水

                          6KW

                          自動

                          手動

                           

                          4

                          浸泡出料

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                           

                          3.1進料→超聲波漂洗(120Khz)→噴淋漂洗→浸泡出料

                          3.2 清洗目的:去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑

                          3.3清洗介質:水+脫脂劑

                          3.4清洗對象:晶圓

                          3.5 清洗能力:5-10min可清洗450片晶圓,即18只花籃。

                          用戶已將晶園擺放在花籃內,花籃規格為:70×125×70mm,每個花籃裝載25片晶圓。

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