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                          成功案例
                          • 真空清洗機
                          • 真空干燥自動超聲波清洗機
                          • 真空干燥清洗機

                          設備名稱:真空干燥式全自動超聲波清洗機

                          設備型號:FWA-850TEK
                          清洗對象:集成電路芯片
                          使用廠家:愛普生精密電子 (蘇州)有限公司

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                          詳細參數 Parameter

                          FWA-850TEK型清洗機采用流行環保水基清洗工藝,具有如下優點。

                          (1)  設計先進、合理,充分考慮了環保和節能的要求;

                          (2)  獨特的鋸齒狀四周溢流,清洗區液體干凈,無二次污染;

                          (3)  采用全封閉式結構,運行部件設計充分考慮防止污染;

                          (4)  超聲波震動板懸空式安裝配合槽底傾斜式設計,槽體清洗清理方便快捷;

                          (5)  清洗過程中超聲波+拋動輔助,有效提高清洗效率;

                          (6)  精巧的等工位移載結構能最大限度地減少輔助運行時間,保正工藝參數實施的準確性;

                          (7)  多臂機械手提升、橫移均采用導軌導柱導向,定位準確、運行五平穩,流暢;

                          (8)  升降裝置配有防壓機構,壓籃故障自動停機并報警,使用安全無憂;

                           工作機理:

                          待清洗工件放入料框內,由人工將料框放上入料口,多臂機械臂按PLC指定的程序將料框搬送到相應工位;完成對工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料臺出料。多臂機械手由氣缸橫向驅動,直線滑軌導向;上下提升由馬達驅動,直線導軸導向;采用觸摸屏操作系統,有手動和自動切換開關及有關操作按鈕,能對整個運行過程實行控制。

                          清洗工藝流程:


                          工藝名稱

                          時間(min)

                          介質

                          過濾

                          方式

                          超聲功率

                          超聲頻率

                          使用

                          溫度

                          01

                          超聲清洗

                          5-8

                          堿洗劑

                          循環

                          1200W

                          40Khz

                          60±5

                          02

                          超聲清洗

                          5-8

                          純水

                          自循環

                          1200W

                          40Khz

                          常溫

                          03

                          超聲清洗

                          5-8

                          純水

                          自循環

                          1200W

                          40Khz

                          常溫

                          04

                          超聲清洗

                          5-8

                          酸洗劑

                          循環

                          1000W

                          80Khz

                          60±5

                          05

                          超聲清洗

                          5-8

                          純水

                          自循環

                          1000W

                          80Khz

                          常溫

                          06

                          超聲清洗

                          5-8

                          純水

                          自循環

                          1000W

                          120Khz

                          80±5

                          07

                          吸引干燥

                          5-8

                          熱風

                          循環

                          -

                           

                          125±5

                          08

                          真空干燥

                          5-8

                          真空

                          抽氣

                          -

                          -

                          80±5


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